溅射成膜由分解过程，输送过程及膜成长三个过程组成。时靶材分解进而开始溅射。一般我们玻璃瓶厂把靶材为固态的有机物，无机物，形状多为块状，板状，圆盘状。对复合组成的靶材制备复杂，成本高。因而玻璃瓶生产厂家采用了粉末状靶材，但有可能有较多气体排出，影响膜性质。一般靶材分解可利用离子枪，+
等离子体，激光等集中的能量。由于飞溅出的原子或分子能量高，成膜中岛状形成密度高已形成连续膜层，微细结构为纤维状结构。由于溅射粒子能量高，促进了在基板表面处原子的迁移和结晶成长，使膜密度以及膜与基板的密着性得到提高。
     成膜过程中会有一定量Ar混入膜中，经过我们徐州玻璃瓶厂的研究结果是把靶材表面反弹的Ar进入膜中的缘故，靶材的原子量越大Ar混入量就越大，但提高Ar气压力可使混入量减少。一般玻璃瓶公司认为混入Ar会影响膜的应力，此外溅射气体中引入反应性气体如O2气时会产生负离子，易造成膜中缺陷。